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菲希爾FISCHER X射線XULM240
菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240關(guān)鍵技術(shù)規(guī)格
X 射線源:50 kV/50 W 鎢靶微聚焦 X 射線管;
準直器與濾片:4 個電動切換準直器(最小 0.05×0.05 mm),3 個自動切換初級濾片;最小測量點約 0.09×0.09 mm;
探測器:比例計數(shù)管,高計數(shù)率,縮短測量時間;
觀測系統(tǒng):500 萬像素彩色視頻顯微鏡,38×–184× 變焦,可實時觀察測量點;
樣品空間:樣品高度 170 mm,測量距離 0–27.5 mm 可調(diào);
精度表現(xiàn):Au>0.1 μm 時,標樣校準誤差 <±5%,無標樣 <±10%;80 nm 金鍍層重復(fù)精度達 2.5 nm,COV<5%;
軟件:配套 WinFTM® 專業(yè)軟件,支持數(shù)據(jù)實時傳輸、自動校準、統(tǒng)計分析、自定義報告導(dǎo)出;
安全:通過型式批準的全防護設(shè)備,符合 RoV 等法規(guī)要求。
